壓電陶瓷驅(qū)動電源主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號或計算機(jī)通過DA給出的模擬信號或其 它的控制信號，通過功率放大模塊內(nèi)部的 電壓與功率放大電路將信號放大。
E09 PZT傳感控制模塊
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動工作臺等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器提供高、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵信號，并檢測和處理 PZT或微動工作臺等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器信 號，并將該傳感器信號通過內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個獨立的設(shè) 備，需集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。
工作原理
壓電陶瓷類變形鏡對高壓驅(qū)動電源的要求除了雙極性高壓輸出和高的動態(tài)性能外，還要求驅(qū)動電源具有穩(wěn)定性高、線性度好、紋波小等特點。通常驅(qū)動電源采用直流放大式的原理結(jié)構(gòu)，它主要由誤差放大級、高壓功率放大級、電壓負(fù)反饋網(wǎng)絡(luò)和高壓直流電源等組成。誤差放大級放大輸入低壓控制信號與電壓反饋信號的差值形成負(fù)反饋，穩(wěn)定驅(qū)動電源閉環(huán)時的電壓增益；高壓功率放大級實現(xiàn)電壓和電流的放大，滿足變形鏡驅(qū)動對電壓和電流的要求；高壓直流電源為高壓功率放大級提供所需的高壓直流電壓。
壓電陶瓷是可以將電能轉(zhuǎn)換成位移或出力的功能性材料且越來越廣泛的被精密定位，半導(dǎo)體加工，顯微成像等各個領(lǐng)域所應(yīng)用。
選擇壓電陶瓷驅(qū)動電源的理由有哪些？
· 大出力
· 高機(jī)械負(fù)載能力
· 高剛度
· 高動態(tài)性
· 真空環(huán)境兼容
· 高分辨率
