壓電掃描臺是專為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化結構，具有超高的導向精度。
如今的各種激光器已經被廣泛應用于各個工業及醫療領域，而飛秒激光作為微加工等領域的理想光源，正逐漸引發市場的高度關注。飛秒激光微加工的過程是將被加工的目標元件固定在壓電掃描臺上，將激光光束聚焦在準備加工的軌跡始端，調節激光能量，按照預先設計好的軌跡移動二維壓電掃描臺進行加工，由于壓電掃描臺的分辨率可達到納米級，精度非常高，所以這能大大提高飛秒激光加工系統的加工精度。
飛秒激光結合高精度壓電掃描臺加工各種材料的微加工方式，作為激光加工技術領域的一個分支越來越受到廣泛的關注。高精度壓電掃描臺以其精度高、性能穩定等特點已被廣泛應用于激光加工領域。
此外，壓電掃描臺還適用于需要大行程高精度的應用，該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。
