壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
壓電偏轉(zhuǎn)鏡在成像、光通信等激光的應(yīng)用中，激光光路的穩(wěn)定都是至關(guān)重要的。為使得激光在傳輸過(guò)程中的穩(wěn)定，利用壓電偏轉(zhuǎn)鏡搭建了一階與二階的激光穩(wěn)定系統(tǒng)。根據(jù)光源的不同而選擇，例如平行光，采用一階激光穩(wěn)定系統(tǒng)即可；而點(diǎn)光源，因其光斑的位置會(huì)有偏移，需要額外的位置校正，則需要二階激光穩(wěn)定系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)。
系統(tǒng)中部件分別為：
1、激光位置探測(cè)器，實(shí)時(shí)探測(cè)激光的位置；
2、E70.D3S壓電控制器，用于控制干擾用壓電偏轉(zhuǎn)鏡；
3、激光器，光源；
4、P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡，產(chǎn)生補(bǔ)償信號(hào)，使激光穩(wěn)定；
5、P33.T2K壓電偏轉(zhuǎn)鏡，產(chǎn)生干擾信號(hào)，使激光產(chǎn)生抖動(dòng)；
6、E70.D3S壓電控制器，用于控制補(bǔ)償用壓電偏轉(zhuǎn)鏡；
7、電腦，閉環(huán)補(bǔ)償控制與補(bǔ)償效果顯示。
采用外部位置探測(cè)器進(jìn)行閉環(huán)的壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，預(yù)先設(shè)定了光束接收的目標(biāo)位置坐標(biāo)，光源通過(guò)干擾壓電偏轉(zhuǎn)鏡、補(bǔ)償壓電偏轉(zhuǎn)鏡的反射后，到達(dá)PSD位置探測(cè)器。
工作時(shí)，壓電控制器對(duì)信號(hào)進(jìn)行讀取并對(duì)輸出電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而壓電偏轉(zhuǎn)鏡做出快速偏轉(zhuǎn)。通過(guò)計(jì)算機(jī)顯示可觀看光束跟蹤及穩(wěn)定情況。經(jīng)過(guò)壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的補(bǔ)償控制，使得光的傳輸更加穩(wěn)定。其中重要的因素就是壓電偏轉(zhuǎn)鏡有偏轉(zhuǎn)精度和快的偏轉(zhuǎn)速度。
